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前载式双探头

更新:2014-12-28 19:03:16      点击:
  • 品牌   INFICON
  • 型号   SPS -540-G1+ 750-707-G1
  • 描述

    双探头在单探头的使用基础上,增添了可在工作中的 替换功能,延长了膜厚探测的工作...

产品介绍

INFICON前载式双探头提供验证的可靠性和持久性,与市场上任何探头探头相比,

具有最好的热稳定性。双探头提供备份晶体,在真空室内需要第二个晶体的关键

过程中是至关重要的。


规格  配置


对于从侧面插入无足够空间的应用,前载式结构易于插入晶体架。采用机械装配

代替焊接,必要时可现场方便地更换部件。探头可单个订购或订购探头/法兰组合

可选焊接的或直口接头装配的结构。 



探头配置 
前载式双探头的标准配置中水管与晶片平行。当第一晶体监测沉积速率时,气动

晶体挡板保护备份晶体。挡板是下拉式结构,  

便于更换晶体。为有效地消除RF干扰,暴露的晶体电极是全部接地的。


法兰 
INFICON  提供两种法兰,1"  螺纹法兰或  2¾" (CF40) ConFlat®  法兰。 按用

户要求可提供 KF40 法兰。
 
法兰连接 
前载式双探头可订购与法兰的组合。探头/ 法兰连接可采用直口接头或焊接 ( 当

 1"  螺纹法兰组合时) 。如需焊接连接,必须在订购前填写INFICON 提供的一个探

头长度规格表。直口接头易调整,无钎焊或焊接的要求。法兰可沿着管长移动,对

于 "E"  长度探头,  在真空系统内的长度可在 20.3  厘米至 71.1  厘米 (8"- 28")  的范

围内调整,对于 "G" 长度探头,一旦确定所需长度,直口接头可用手指拧紧管密封件。

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