INFICON前载式双探头提供验证的可靠性和持久性，与市场上任何探头探头相比，

具有最好的热稳定性。双探头提供备份晶体，在真空室内需要第二个晶体的关键

过程中是至关重要的。

规格  配置

对于从侧面插入无足够空间的应用，前载式结构易于插入晶体架。采用机械装配

代替焊接，必要时可现场方便地更换部件。探头可单个订购或订购探头/法兰组合

可选焊接的或直口接头装配的结构。 



探头配置 
前载式双探头的标准配置中水管与晶片平行。当第一晶体监测沉积速率时，气动

晶体挡板保护备份晶体。挡板是下拉式结构,  

便于更换晶体。为有效地消除RF干扰，暴露的晶体电极是全部接地的。


法兰 
INFICON  提供两种法兰，1"  螺纹法兰或  2¾" (CF40) ConFlat®  法兰。 按用

户要求可提供 KF40 法兰。
 
法兰连接 
前载式双探头可订购与法兰的组合。探头/ 法兰连接可采用直口接头或焊接 ( 当与

 1"  螺纹法兰组合时) 。如需焊接连接，必须在订购前填写INFICON 提供的一个探

头长度规格表。直口接头易调整，无钎焊或焊接的要求。法兰可沿着管长移动，对

于 "E"  长度探头,  在真空系统内的长度可在 20.3  厘米至 71.1  厘米 (8"- 28")  的范

围内调整，对于 "G" 长度探头，一旦确定所需长度，直口接头可用手指拧紧管密封件。