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溅射阴极

更新:2015-1-24 16:08:12      点击:
  • 品牌   Angstrom Sciences
  • 型号   
  • 描述

    根据使用需求,选型定做 为你提供更适合更完美的阴极及靶材...

产品介绍
美国Angstrom Sciences公司 溅射阴极及靶材

 美国安斯超科学公司(Angstrom Sciences,Inc)成立于1988年,,是一家

专业从事物理气相沉积磁控溅射阴极及溅射靶材的高科技专业公司,专

的磁场设计和独特的水冷技术使其产品倍受欢迎。安斯超公司对磁控溅

靶阴极的磁体外形和冷却循环结构进行了科学合理地优化设计,并且选取

更强的磁体(比稀土磁体强30%),从而使安斯超的靶阴极比常规的靶阴

极具有更为卓越的性能。



核心专利技术及特点

 特殊设计的磁体结构,使得磁场线跨度范围更宽,从而提高靶材的利用率和膜层的均匀性

 湍流冷却技术,使得水流能够更平缓的进入阴极,从而提高冷却效果

 特殊设计的耙材固定结构,使得耙材更换起来更简单,降低停工期

 超强的磁体材料 NdFeB,他的强度比其他的稀土磁体要强30%

 极高的靶材利用率,最高可以达到50%,从而降低靶材成本

 极好的产品均匀性,最高可以达到±3% 

 可以在更低的真空以及更高的功率下运行:最低压力可以达到10-4TOR

 直接水冷结构可以提高其功率密度达到250Watt s/in2

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