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SQC-310 薄膜沉积控制器
更新：2014/3/1 11:16:18 点击：
- 品牌 INFICON
- 型号 SQC310
- 描述
高精确连续沉积控制或共沉积控制...
产品介绍
功能
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高清晰 1/4 VGA 有源矩阵彩色 LCD 显示器 – 提供有英文界面和中文界面
-
标准 RS-232 和 USB（可选 RS-232 和以太网）
-
设有“Quick Setup”（快速设定）菜单、6 个区分上下文按钮以及一个简便的参数设定旋钮，易于设定和操作
-
用于开发、测试和下载过程的 Windows® 程序，以及用于将仪器数据记录到 PC 进行过程分析与质量控制的 Windows 程序
-
精确的过程控制，尤其适用于低沉积速率，测量速率为每秒 10 个读数，测量分辨率为 ±0.03 Hz
-
存储容量可达 100 个过程、1000 层薄膜、50 种薄膜材料
-
使用单传感器或多传感器监控源材料，提供精确的源分布监控
功能
- 高清晰 1/4 VGA 有源矩阵彩色 LCD 显示器 – 提供有英文界面和中文界面
- 标准 RS-232 和 USB（可选 RS-232 和以太网）
- 设有“Quick Setup”（快速设定）菜单、6 个区分上下文按钮以及一个简便的参数设定旋钮，易于设定和操作
- 用于开发、测试和下载过程的 Windows® 程序，以及用于将仪器数据记录到 PC 进行过程分析与质量控制的 Windows 程序
- 精确的过程控制，尤其适用于低沉积速率，测量速率为每秒 10 个读数，测量分辨率为 ±0.03 Hz
- 存储容量可达 100 个过程、1000 层薄膜、50 种薄膜材料
- 使用单传感器或多传感器监控源材料，提供精确的源分布监控
规格
| 类型 | SQC-310 | |
|---|---|---|
| 测量 | ||
| QCM 输入 |
|
2 (4 optional) |
| 频率范围 |
|
4 to 6 MHz |
| 频率分辨率 |
|
± 0.03 Hz at 0.10 sec measurement period |
| 厚度分辨率（密度 = 1，z 比值 = 1） |
|
0.0368 Å |
| 频率稳定性 |
|
± 2 ppm total, 0 to 50C |
| 测量速率 |
|
1 to 10 Hz |
| 速率显示 |
|
0.01 Å/sec |
| 控制 | ||
| 存储 |
|
100 processes, 1000 layers, 50 films |
| 控制输出 |
|
2 (4 optional) |
| 输出信号 |
|
± 0 to 10 VDC, 15 bits |
| 数字输入/继电器 |
|
8 (16 optional) |
| 数字输入 |
|
5 VDC non-isolated |
| 继电器 |
|
SPST Form 1A, 30V, 2A max |
| 接口 |
|
Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional) |
| 远程电源控制 |
|
Optional (IPN 782-900-017) |
| 显示器 | ||
| 类型 |
|
1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD |
| 图表 |
|
Rate, deviation, power or full screen numeric |
| 一般 | ||
| 功率 |
|
100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W |
| 合规性 |
|
CE, RoHS |
| Windows® 软件 |
|
Included |
| 壳体/安装 |
|
5 1/4” half-rack |
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