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SQC-310 薄膜沉积控制器

更新:2014-3-1 11:16:18      点击:
  • 品牌   INFICON
  • 型号   SQC310
  • 描述

    高精确连续沉积控制或共沉积控制...

产品介绍

功能

  • 高清晰 1/4 VGA 有源矩阵彩色 LCD 显示器 – 提供有英文界面和中文界面
  • 标准 RS-232 和 USB(可选 RS-232 和以太网)
  • 设有“Quick Setup”(快速设定)菜单、6 个区分上下文按钮以及一个简便的参数设定旋钮,易于设定和操作
  • 用于开发、测试和下载过程的 Windows® 程序,以及用于将仪器数据记录到 PC 进行过程分析与质量控制的 Windows 程序
  • 精确的过程控制,尤其适用于低沉积速率,测量速率为每秒 10 个读数,测量分辨率为 ±0.03 Hz
  • 存储容量可达 100 个过程、1000 层薄膜、50 种薄膜材料
  • 使用单传感器或多传感器监控源材料,提供精确的源分布监控

规格

类型 SQC-310
测量  
QCM 输入
2 (4 optional)
频率范围
4 to 6 MHz
频率分辨率
± 0.03 Hz at 0.10 sec measurement period
厚度分辨率(密度 = 1,z 比值 = 1)
0.0368 Å
频率稳定性
± 2 ppm total, 0 to 50C
测量速率
1 to 10 Hz
速率显示
0.01 Å/sec
控制  
存储
100 processes, 1000 layers, 50 films
控制输出
2 (4 optional)
输出信号
± 0 to 10 VDC, 15 bits
数字输入/继电器
8 (16 optional)
数字输入
5 VDC non-isolated
继电器
SPST Form 1A, 30V, 2A max
接口
Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
远程电源控制
Optional (IPN 782-900-017)
显示器  
类型
1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
图表
Rate, deviation, power or full screen numeric
一般  
功率
100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W
合规性
CE, RoHS
Windows® 软件
Included
壳体/安装
5 1/4” half-rack

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