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高压热电离皮拉尼真空计 HPG400

更新:2014-3-10 10:49:56      点击:
  • 品牌   INFICON
  • 型号   HPG400
  • 描述

    可测量 2×10-6 毫巴至大气压(1.5×10-6 托至大气压)范围内的压力...

产品介绍

优点

  • HPG400 可节省成本和工具空间,降低真空系统安装与设置的复杂性
  • 高压热电离真空计可以准确可靠地测量 1×10-5 … 1 毫巴范围内的压力,进而改善过程控制
  • 用户可选的热离子发射在 5×10-2 至 1 毫巴之间启动
  • 皮拉尼联锁保护热丝,防止过早烧毁
  • 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
  • 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员干预
  • RoHS 合规

典型应用

  • 半导体制造、电子和媒介产业中的溅射应用
  • 工业镀膜
  • 低真空和高真空范围内的一般真空测量和控制

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