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IC6 薄膜沉积控制器

更新:2014-2-26 16:30:58      点击:
  • 品牌   INFICON
  • 型号   IC6
  • 描述

    功能丰富的 IC6 提供提供最佳测量精度...

产品介绍

功能

  • INFICON ModeLock 技术确保获得最高、最稳定的速率和厚度测量分辨率,即使在速率极低的情况下
  • Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值,可提高厚度测量的精度
  • 支持最多六个来源同时共沉积
  • 彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
  • 100ms 样本速率下频率范围为 +/-0.0035 Hz
  • USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录
  • 强大的 I/O 凭借其灵活性可融入简单或复杂的系统(使用可扩展输入 (28) 和输出 (24 继电器,14 TTL 输出),并充分利用逻辑功能(100 个逻辑语句)
  • 6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控
  • 可容纳最多 50 个过程,每个过程 200 层,这些过程关联到一起,总共可容纳 10,000 层。
  • 多路传感器可平均分配为 8 个传感器
  • 4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆
  • 可选以太网通信
  • 符合 RoHS 标准

典型应用

  • 高端光学镀膜

规格

类型 IC6
测量性能  
分辨率 (1)
0.00433 Å/s/M
最大晶体频率偏移
1.5 MHz
晶体范围和精确性(来自 100-ms 样品)
6.0 to 4.5 MHz +/- 0.0035 Hz
厚度精度 (2)
0.5%
测量频率
10 Hz
多个测量值平均
0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
设计功能  
Auto Z
yes
自动色调
yes
共沉积
yes (up to 6 sources)
过程配方和数据管理  
材料计划
32
过程层(每个过程)
200
过程
50 (processes can be linked together)
USB 存储器
yes
数据记录
yes
硬件功能  
传感器 (3)  

8
双 / CrystalTwo®
4 / 8 (with CrystalTwo® Switch)
CrystalSix®
8
Crystal 12®
8
通用
8
来源控制  
来源数量 (4)
up to 6
来源控制电压
0 to +/-10 V, adjustable
输出分辨率
15 bits over full range (0 to 10V)
坩埚位置
64
输入 / 输出  
输入
14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground
输出
8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs
记录器输出 (4)
0 to +10 V, adjustable
逻辑语句
100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement
通信  
标准
RS232
可选
Ethernet
显示器  
厚度分辨率

1 Å for 0 to 9.999 kÅ

10 Å for 10.00 to 99.99 kÅ

100 Å for 100.0 to 999.9 kÅ

1 kÅ for 1000 to 9999 kÅ

速率分辨率

0.001 for 0 to 9.999 Å/s if rate filter time setting is 10 seconds or greater

0.01 for 0 to 99.99 Å/s

0.1 for 100 to 999.9 Å/s

操作  
电源要求

100 – 230 V (ac) +/- 15%

50 / 60 Hz +/- 3 Hz

工作温度
0 to 50 C (32 to 122 F)
尺寸,不包括安装件(高 x 宽 x 深)
5.25” x 19” x 13” (133mm x 483mm x 330 mm)
重量
23 lbs (10.5 kg)
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