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美国瓦里安
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 检漏仪 |
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1972
年由瓦里安公司首先在检漏仪的设计中提出了逆流式的概念，使得目前全球的检漏仪全部采用逆流式的方法进行检漏。 |
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瓦里安的发明之一，优点在于： |
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·极大的排气量 |
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·前级耐压高达
18mbar |
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·压缩比提高了几个数量级却丝毫不增加泵的体积和重量，对质量轻的气体更为显著。 |
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VＳ系列氦质谱检漏仪 |
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特性及优点 |
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·多种语言和计量单位选择，可选中文界面 |
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·135º
电离偏转 (自然聚焦点)的全新质谱技术，金属密封结构 |
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·新的电子线路及信号处理设计 |
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·最小可检漏率高、灵敏度覆盖范围可达12个量程 |
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·快速清氦和快速响应 |
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·测试口耐压高，可实现大漏检漏 |
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VS系列检漏仪参数表 |
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性能指标 |
PR02 |
MR15&MD30 |
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性能 |
前级泵内置式 |
前级泵外置式及小车 |
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前级泵
油式机械泵 |
DS-42 2 m3/hr (34 l/m) |
DS-302 14 m3/hr (232
l/m) |
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涡卷式干泵 |
N/A |
TS-620 30 m3/hr (500
l/m) |
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最小可检漏率在1000ppm的氦气背景下 |
5×10-12
atm cc/sec； 5×10-12
mbar l/s；5×10-13
Pa m3/sec helium |
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测试口最高耐压 |
16 mbar，12
Torr，1600
Pa |
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测试口处对氦气抽速 |
1.8 l/s |
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校准程序 |
自动或手动（内置或外置） |
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氦本底清零 |
按键清零，并具有零点追踪功能 |
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操作界面 |
高清晰彩显，TFT触摸屏 |
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语言选择 |
中文/英语/法语/德语/日语/韩语/西班牙语 |
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循环检测 |
可编程粗抽时间/测试时间，设置报废点 |
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响应时间 |
＜1.0秒 |
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设定点 |
标准；5个设定点；常开或常闭；3个漏率点；1个压强点；1个声讯点 |
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通讯协议 |
RS-232
通讯借口，9600波特率（9芯窜口） |
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执行标准 |
UL，CE，CSA |
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详细资料 |
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959
型检漏仪参数表 |
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最小可检漏率 |
2 x 10-9
atm-cc/sec helium |
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最大测试口压强 |
1 torr |
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测试接口 |
NW-25 KF
法兰 (adapter to 1-1/8
in. compression fitting available) |
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漏率显示 |
50-segment LED bar graph with numeric exponent |
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漏率单位显示 |
Atmospheric-cc/sec |
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重复测试控制 |
手动（四个按钮） |
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校正操作 |
手动 |
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背景信号抑制 |
手动 |
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范围变换 |
手动 |
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大气冲入和停电保护 |
自动 |
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音频信号 |
可调节开关及其音量大小 |
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远程模拟漏率输出 |
听筒塞孔, 0
to 5 VDC |
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建议操作环境温度 |
5 to 35
°C |
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电气要求 |
115 V or
230 V, 50/60 Hz (15/20 amps) |
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重量 |
22.7 kgs
(50 lbs) |
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979
型检漏仪参数表 |
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979 型全自动触摸屏式检漏仪
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单个前级泵
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双前级泵
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测量范围 atm.cc/sec
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标准灵敏度
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10 -4 到 10 -9
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10 -1 到 10 -9
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高灵敏度
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10 -5 到 10 -10
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10 -2 到 10 -10
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最小可检漏率
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标准灵敏度
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5 × 10 -10
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高灵敏度
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5 × 10 -11
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最大测试口压强 Torr
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5 |
760
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高真空泵
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分子泵 V70D( 标准型号
) 、分子泵 V70LP( 高灵敏度型号 ) |
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前级泵
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前级 / 粗抽
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前级 |
粗抽 |
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机械泵
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DS-302
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DS-302
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SD-451
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干泵 |
TriScroll-300
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TriScroll-600
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TriScroll-300
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测试口
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KF25
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校准 |
自动校准
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设定点
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4 个设定点
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清零 |
背景清零一次 2.5 个量级
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漏率显示
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Atm.cc/sec,
mbar.L/sec, Torr.L/sec, Pa.m 3/sec |
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反应时间
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< 0.5 秒
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 详细资料 |
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