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美国瓦里安
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 Macro
Torr 技术 |
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目前世界上最有效的涡轮级设计技术。 |
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瓦里安的发明之一，优点在于： |
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·极大的排气量 |
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·前级耐压高达
18mbar |
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·压缩比提高了几个数量级却丝毫不增加泵的体积和重量，对质量轻的气体更为显著。 |
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一体化转子 |
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瓦里安的专业切割工具以及 EDM 工艺，结和完善的 CAD/CAM
制造手段，可将一块高科技含量的铝合金原材料加工成为整体型转子。这项技术的成就，极大提高了泵的寿命。 |
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·转子的质量更轻，用户可任意位置安装。
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·转子的自重越轻，材料及轴承承受的应力就越小，泵的寿命自然会更长。 |
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高抽速，高压缩比 |
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低成本，体积小，高性能是我们的设计理念。我们对技术的运用，确保了在体积尽可能小，成本尽可能低，而可靠性很高的情况下仍能获得优异的性能指标。 |
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前级耐压高 |
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前级耐压高达 18mbar
！最大的优点是可以配更小的前级泵，如 V301 的分子泵只需配 5m 3/hr 的 SH-100 的干泵或
DS-102 机械泵作为前级泵既可满足要求。 Macro Torr
技术不仅降低了真空系统的成本，也使分子泵的性能更优秀。 |
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分子泵
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产品型号
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V70
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V70D
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V70LP
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V301
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V551
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V701
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V1001
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V2000HT
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V6000
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转速 rpm
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75000
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75000
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75000
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56000
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42000
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42000
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38000
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33000
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14000
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进气口法兰
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40/63
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40/63
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40/63
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100/160
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100/160
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200
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160/200/250
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250
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500
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出气口法兰
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16 |
16 |
16 |
16 |
25 |
25 |
40 |
40 |
100
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抽速 N 2 L/s
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46/68
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40/60
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46/68
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250/280
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350/550
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690
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790/950/1050
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1950
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6000
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压缩比 N 2
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5 × 10 7
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5 × 10 7
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5 × 10 8
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7× 10 8
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＞ 1× 10 9
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1× 10 9
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1× 10 9
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＞ 1× 10 9
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＞ 1× 10 10
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极限压强 mbar
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1× 10 9
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＜ 1× 10 9
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＜ 2× 10 -10
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＜ 5× 10 -10
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＜ 1× 10 -10
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＜ 1× 10 -10
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＜ 1× 10 -10
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1× 10 -10
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＜ 1× 10 -10
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启动时间 min
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＜ 1
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＜ 1
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＜ 1
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2.5
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＜ 5
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＜ 5
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＜ 4
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10 |
30 |
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电源 |
220V
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220V
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220V
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220V
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220V
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220V
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220V
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220V
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220V
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