CLF系列低频电源

   稳定、可靠、低频电源，针对工业加热和等离子工艺方面的应用

表现

   CLF系列发生器稳定的加工功率，功率可达5KW。半机架电源可在20～50KHZ任意确定频率运作，全机架电源可在20～450KHZ任意确定频率或自动调节+/-15％频度下运作。在很多应用领域，自动调频和超额功率净空高度的结合允许功率的传送改变电抗性负载，不需机械调节匹配网络。

应用领域

    CX系列电源为了满足在半导体工艺反面的高频驱动等离子系统的性能要求而设计的。应用领域包括：刻蚀、RIE、平行板、ICP、射频溅射、CVD和PVD，同时也应用在感应和介质加热的工业领域。

性能

·输出功率持平于传输功率

·不需预防性的维护，和发生器无最大正常运行时间限制

·保护电路防护电路放大器在超额的电压、电流和功率条件下工作

·在全机架模式下，具有快速自动匹配电路

·CLF5000电源符合CE标准，并且适从于SEMI F47要求

可选性

·输入线电压范围宽

·主/从操作（全机架模式下）

详细资料