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CB系列高频射频电源 |
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在小而轻组装上的优越的设计和可靠性 |
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表现 |
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CB产品系列的射频发生器功率范围有50～5000W，其标准固定频率为2～60MHZ，固态设计确保了精确的和可再现性的功率控制、超稳定输出和低成本。CB系列设计融入了康戴尔射频放大器技术。 |
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应用 |
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CB
系列电源为了满足在半导体工艺反面的高频驱动等离子系统的性能要求而设计的。应用领域包括：刻蚀、RIE、平行板、ICP、射频溅射、CVD和PVD，同时也应用在感应和介质加热的工业领域. |
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性能 |
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·小而轻的组装 |
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·标准功率范围：50、200、300、500、600、1000、1250、3000、5000W |
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·标准固定频率：2MHZ、3.39MHZ、13.56MHZ、27.12MHZ、40.68MHZ、60MHZ |
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·S－专利技术确保了超稳定的输出，此稳定技术使功率放大性能得以优化，并降低了由等离子阻抗波动造成的功率增益变化 |
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·获得ETL产品安全标志，并符合SEMI
F47 |
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·正向或发射功率模式控制 |
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可选性 |
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·高准确性、低输出控制：10～100％标定功率设置点的+/-1％ |
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·内部确定匹配 |
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·主/从操作 |
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·频率调节 |
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·设备网络 |
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详细资料 |
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