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质量流量计 |
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Aalborg
Instruments & Controls, Inc是世界上著名的气体质量流量计/控制气的生产厂家，其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、
材料科学 、石油化工、医药、环保等领域。 |
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设计性能： |
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·不锈钢构造 |
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·最大压力500psig(34.5bars) |
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·0~5Vdc或4~20mA信号 |
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·集成漏率1*10-9sml/sec
(He) |
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·精确度±1%F.S |
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·备选总量计数器 |
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·具电路保护功能 |
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AFC型质量流量控制器是为显示和控制气体流量而设计的。 |
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技术参数： |
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1.精确度: ±1%
满量程度FS (线性范围:气体T=15~25℃,压力=0.7~4.1bas);±2%F.S
(线性范围:气体T=5~50℃,压力=0.35~10.3bars) |
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2.重复性: ±0.2%F.S |
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3.时间常数:
AFM系列—300ms |
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AFC2600 (Qmax=15sL/min)—300ms |
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AFC3600 (Qmax=50sL/min)—600ms |
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AFC4600 (Qmax=100sL/min)—600ms |
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4.响应时间: AFM系列在设置流速(25~100%
F.S)的±2%变化值之内的响应时间大约为1秒 |
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5.温度系数:
±0.1%F.S/℃ |
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6.压力系数:
±0.01%F.S/psi(0.07bars) |
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7.最佳气体压力:
25 psig(1.73bars) |
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8.最大的气体压力:
500 psig(34.5bars)max.标准校正压力为20psig(14bars)进气口压力 |
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9.气体和环境温度:
5℃~50℃ |
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10.漏率:最大漏率1*10-9smL/sec
(He) |
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11.流体接触材料:
316或416不绣钢,
Viton O型圈,
备选O型圈:Neoprene或Kalrez
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12.安装敏感性:
倾斜度不大于±15%,标准校正安装姿势为水平位置 |
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13.输出信号:0~5V
(2000Ωmin,负载阻抗);4~20mA(0~500Ω,线圈电阻)线性的直流电信号。最大的峰值噪音20mV |
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14.连接口: AFM/AFC2600,AFM/AFC3600
-1/4” compression,fittings, AFM/AFC4600 - 3/8”
compression fittings. |
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备选
1/8” or 3/8” compression fittings or 1/4” VCR® fittings |
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15.传感器输入功率：AFM/AFC2600
±15 ± 5% Vdc, 80 mA max,1.2W; ±15 ± 5% Vdc, 200 mA max,
3W; |
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AFC3600/AFC4600 ±15 ± 5% Vdc, 220 mA max,
3.3W; ±15 ±5% Vdc, 600 mA max, 9W. |
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16.电路保护：电路具极性方向保护，可更换的保险丝提供电源输入保护。 |
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详细资料
AFC
GFC |
